1.潔凈度
潔凈度是潔凈室的基本的技術(shù)指標(biāo)，其單位是單位體積的空氣中粒徑不小于某一尺寸的微粒個(gè)數(shù)。
2.微生物濃度
微生物濃度時(shí)潔凈室的另一項(xiàng)重要技術(shù)指標(biāo)，其單位是單位體積的空氣中微生物的個(gè)數(shù)。
3.溫度
溫度時(shí)基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對于溫度都有明確的要求，溫度會影響物體的尺寸，從而影響加工的精確度，所以精密加工對于溫度有相當(dāng)嚴(yán)格的要求，溫度會影響儀器的參數(shù)，從而產(chǎn)生誤差，所以精密測量儀器對于溫度的要求也較高。
4.濕度
濕度也是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對于濕度都有明確的要求，濕度較大會使許多物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚至使設(shè)備失效，產(chǎn)品報(bào)廢。
5.風(fēng)速與風(fēng)量
足夠的風(fēng)速和風(fēng)量是潔凈度的保證，過大的風(fēng)速與風(fēng)量不僅浪費(fèi)能量，而且有時(shí)會影響正常的工作。
6.氣壓與壓差
正常的氣壓式正常工作的基本條件。必要的壓差是控制漏氣方向的手段。微電子行業(yè)的潔凈室為了保證潔凈度，不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區(qū)域泄露。
7.噪聲
過大的噪聲不僅會影響正常的工作，而且會影響人員的身體健康，降低噪聲是潔凈室的一項(xiàng)基本要求。
8. 照度
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